【膜厚計種類指南】了解膜厚計技術原理，應用範圍一把抓

膜厚計該如何選擇

『市面上膜厚計百百款弄得我好亂啊!?該如何選擇?』
膜厚的監控不管在製程中或是成品上都是十分重要的，不同的厚度或是不好的面內厚度分布有可能會無法達到我們想要的物理性質(例如:透過率、光學性質、保護性...等等)。
打開網頁查找各種原理各種廠牌的膜厚計(膜厚儀)琳瑯滿目，大致上可以分成接觸式(破壞式)以及非接觸式(非破壞式)膜厚計兩種。
主要還是以想要量測膜層的種類、厚度、用途...等等來做最初步的區分。
 

接觸式膜厚計

接觸式膜厚計以探針或鑽石刀等等將膜層連同底材截斷後，用不同的方法來觀察切斷面。
可能是用顯微鏡或是內置的斷差量測方法等等。
此種方法簡單暴力特色是抽樣檢查後，膜就被破壞了，所以又稱為破壞式膜厚計。
大致上來說機台成本都相對於非接觸式的膜厚計來得低，且量了多少就是多少比較沒有疑慮。
但是總體上來說適合比較厚的膜(μm級厚度)，精度等等比非接觸式膜厚計稍微不足。
適合的產品為
1.較厚的膜(μm級厚度)
2.破壞後不會心痛的膜
 

非接觸式膜厚計

非接觸式膜厚計的種類又更多了，常見有光學式、Xray、渦電流等等方式。

渦電流式膜厚計

渦電流利用電磁感應的原理，塗層越厚電磁感應力越小，使用上要注意校正的方法。不同底材有不同的校正方法。
適合在金屬基材上的膜層厚度量測。量測還是以厚膜為主，μm級厚度甚至是mm等級厚度。

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接下來介紹地非接觸式都是以相對計算的方法求得厚度值，大多可以進入奈米級厚度，精度較高。
因為非接觸的方式不會破壞產品，除了實驗室也能應用於產線上。

X-ray式膜厚計

Xray在非接觸式中算是價位比較高的，因為不是用一般的光量測，有安全上的考量，使用人員需要經過較嚴謹的訓練。
主要量測金屬膜厚，使用X光激發金屬元素厚進行量測。
因為價位偏高，適合金屬膜的量測需求，種類也比較受限，其他膜層可以考慮使用光學式即可。
依照量測膜種類不同，厚度橫跨nm~μm等級。
 

光學式膜厚計

進入光學式就是我們大塚專精的領域了，光學膜厚儀除了厚度以外也可以求得折射率以及消光係數(n,k值)等光學常數，在光學膜的領域可以說光學式膜厚計是不二人選。
光學式膜厚除了光學膜以外也被廣泛利用在各種膜層。
大塚身為光學膜厚的專業廠商，提供所有光學膜厚的解決方案。
從垂直反射式光學膜厚到橢圓偏光膜厚儀。
量測範為從0.1nm~數百μm膜厚，都有得選。
內建高感度的心臟光譜儀，讓您得到最高信賴度的膜厚結果。
也可搭配產線架設進行線上膜厚監控。
顯微光斑量測面積0.3μm的微小面積膜厚更是我們的拿手好戲，可用聚焦方式量測不平整表面。
下面簡單列舉一下各種機種擅長的領域，準備好了嗎!?開始囉!

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顯微分光膜厚量測儀OPTM series

搭配最小3μm的顯微鏡及自動載台，單點對焦量測不需要一秒。
搭配自動載台可以快速得到樣品面內膜厚分布，另外也有可以設置於產線上量測頭機型。
是大塚膜厚家族裡功能最全面，最多客人採用的多功能泛用機型。

膜厚量測儀FE-300

以平行光量測光斑3mm，無複雜設定輕鬆得到膜厚結果。
相對實的價格，適合整膜塗布的膜層。

光譜干涉WAFER測厚儀SF-3

以干涉方法量測晶圓、玻璃、樹酯厚度。
特色是量測時間特別快(μS)等級，架設於研磨機台等等最為合適。
在研磨中不受研磨液的干涉影響，也許就隱身在您廠內的晶圓研磨裝置中只是您還不知道。

橢圓偏光量測儀FE-5000S

橢圓偏光儀有其他光學膜厚量測設備更低的量測下限(0.1nm~)，搭配橢圓偏光參數分析膜厚以及光學常數。

LineScan線上膜厚檢測系統

架設於產線上，不同於以往單點的量測方式。
LineScan線上膜厚檢測系統是一次量測一整條線，配合卷對卷產線可以做到真正無遺漏的全面膜厚檢查。

薄膜厚量測設備產線Stand-alone型 TE series

對應Load port型產線上的膜厚檢查系統，高精度的自動對位系統可搭配2吋~12吋樣品的各種解決方案。

膜厚儀洽詢

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