線上免費研討會

【掌握前沿光學膜厚量測技術 : 認識光干涉的原理與應用】

膜厚研討會
 
我們將介紹最新的光學膜厚量測技術,包括光干涉的原理與應用。在本次研討會中我們為您簡介如何使用光學量測儀器量測薄膜的厚度,精確掌握產品的品質控制與生產效率。我們將與您分享最佳的實踐方法與技巧。
【場次1】2023/06/28 15:00~16:00
【場次2】2023/07/05 14:00~15:00

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【固體表面電位解密:板狀、薄膜狀樣品表面電位量測方法與範例介紹】

固體表面電位研討會 (1)

 
固體表面電位是大塚電子ELSZ特色的量測項目,主要使用電氣泳動法配合電滲流解析做量測。
其不僅可以解析固體本身的電位,也可以進一步置換液相容液觀察固體與液體相間的交互作用。
利用電荷的吸引或斥力,可以延伸出許多研究方向。
【場次1】2023/08/17 14:00~15:00

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設備常見問題

◎LCF系列

項次 異常訊息/狀態 排除說明
(1) reference對焦動作異常 原因:上焦點設定錯誤,導致對焦異常。
對策:進入Machine condition,針對reference 進行上下對焦並存檔。
(2) 量測再現性不佳 原因:燈源不穩定。
對策:更換新品燈源。
(3) Tans spot search error 原因:量測燈源熄滅,導致量測異常。
對策:更換新品燈源。
(4) MCPD communication error  原因:MCPD分光器通訊異常。
對策:檢查MCPD分光器電源是否開啟? 電源線是否脫落?


 

◎Rets系列

項次 異常訊息/狀態 排除說明
(1) Calibration測檢時發生Light over    
或Lght under的錯誤訊息
原因: 請確認燈源是否有正常動作? 
對策: 請更換新品燈源再進行測試。          
(2) Calibration測檢時發生Light over    
或Lght under的錯誤訊息
原因: MCPD內部Shutter有斷裂可能。
對策: 請檢查MCPD內部Shutter,如有斷裂則需更換。
(3) Calibration測檢時發生Light over    
或Lght under的錯誤訊息
原因: MCPD內部Shutter馬達故障可能。
對策: 請檢查MCPD內部馬達,如旋轉動作不順暢則建議更換。
(4) Calibration的波長板量測結果 原因: 光通路被遮蔽或燈泡沒亮。
對策: 請檢查量測時的光軸路徑,是否有被干涉或者遮蔽。另外也需檢查燈泡是否正常發亮。


 

◎MPRT系列

項次 異常訊息/狀態 排除說明
(1) scroll speed is fast 原因: 畫面捲動速度過快,導致CCD Camera無法正確抓取畫面。
對策: 請依大塚提供的ScrollSpeed計算資料,將MPRT軟體中的捲動速度降低。
(2) Detect line error 原因: 畫面解析度過高 or 畫面閃爍。
對策: 請將工作距離拉遠,並提高CCD Pixel數由100變更為150。
(3) Check and Ajust Iris of Camera      原因: 樣品光源不足。
對策: 調整光圈IRIS使其進光量增加。
(4) communication Error 原因: 通訊異常。
對策: 查看裝置驅動程式是否遺失,重新安裝驅動程式。

 

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