設備常見問題

◎LCF系列

項次 異常訊息/狀態 排除說明
(1) reference對焦動作異常 原因:上焦點設定錯誤,導致對焦異常。
對策:進入Machine condition,針對reference 進行上下對焦並存檔。
(2) 量測再現性不佳 原因:燈源不穩定。
對策:更換新品燈源。
(3) Tans spot search error 原因:量測燈源熄滅,導致量測異常。
對策:更換新品燈源。
(4) MCPD communication error  原因:MCPD分光器通訊異常。
對策:檢查MCPD分光器電源是否開啟? 電源線是否脫落?


 

◎Rets系列

項次 異常訊息/狀態 排除說明
(1) Calibration測檢時發生Light over    
或Lght under的錯誤訊息
原因: 請確認燈源是否有正常動作? 
對策: 請更換新品燈源再進行測試。          
(2) Calibration測檢時發生Light over    
或Lght under的錯誤訊息
原因: MCPD內部Shutter有斷裂可能。
對策: 請檢查MCPD內部Shutter,如有斷裂則需更換。
(3) Calibration測檢時發生Light over    
或Lght under的錯誤訊息
原因: MCPD內部Shutter馬達故障可能。
對策: 請檢查MCPD內部馬達,如旋轉動作不順暢則建議更換。
(4) Calibration的波長板量測結果 原因: 光通路被遮蔽或燈泡沒亮。
對策: 請檢查量測時的光軸路徑,是否有被干涉或者遮蔽。另外也需檢查燈泡是否正常發亮。


 

◎MPRT系列

項次 異常訊息/狀態 排除說明
(1) scroll speed is fast 原因: 畫面捲動速度過快,導致CCD Camera無法正確抓取畫面。
對策: 請依大塚提供的ScrollSpeed計算資料,將MPRT軟體中的捲動速度降低。
(2) Detect line error 原因: 畫面解析度過高 or 畫面閃爍。
對策: 請將工作距離拉遠,並提高CCD Pixel數由100變更為150。
(3) Check and Ajust Iris of Camera      原因: 樣品光源不足。
對策: 調整光圈IRIS使其進光量增加。
(4) communication Error 原因: 通訊異常。
對策: 查看裝置驅動程式是否遺失,重新安裝驅動程式。

 

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