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  界達電位粒徑分析量測原理及最新應用

WEBINAR (1920 × 755 公釐) (1)


 
不論是粒徑還是界達電位都是幫助我們觀察樣品分散效果的重要指標,我們歡迎所有對分散性量測技術有興趣的人參與,我們期待與您分享最新的技術發展與實踐經驗,並一同探討光散射量測技術的未來發展方向。
【場次1】2023/11/09 14:00~15:00

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【半導體製程中的膜厚量測技術和挑戰】


半導體製程中的膜厚 量測技術和挑戰 (1920 × 755 公釐)
 
半導體製程的膜厚度是確保製程品質和性能的關鍵因素之一,而準確測量薄膜的厚度則尤為重要。
在這個研討會中,我們將深入探討先進的膜厚量測技術,並討論在實際製程中面臨的挑戰。採用最佳實踐,並掌握未來的發展趨勢。
【場次1】2023/11/29 14:00~15:00
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設備常見問題

◎LCF系列

項次 異常訊息/狀態 排除說明
(1) reference對焦動作異常 原因:上焦點設定錯誤,導致對焦異常。
對策:進入Machine condition,針對reference 進行上下對焦並存檔。
(2) 量測再現性不佳 原因:燈源不穩定。
對策:更換新品燈源。
(3) Tans spot search error 原因:量測燈源熄滅,導致量測異常。
對策:更換新品燈源。
(4) MCPD communication error  原因:MCPD分光器通訊異常。
對策:檢查MCPD分光器電源是否開啟? 電源線是否脫落?


 

◎Rets系列

項次 異常訊息/狀態 排除說明
(1) Calibration測檢時發生Light over    
或Lght under的錯誤訊息
原因: 請確認燈源是否有正常動作? 
對策: 請更換新品燈源再進行測試。          
(2) Calibration測檢時發生Light over    
或Lght under的錯誤訊息
原因: MCPD內部Shutter有斷裂可能。
對策: 請檢查MCPD內部Shutter,如有斷裂則需更換。
(3) Calibration測檢時發生Light over    
或Lght under的錯誤訊息
原因: MCPD內部Shutter馬達故障可能。
對策: 請檢查MCPD內部馬達,如旋轉動作不順暢則建議更換。
(4) Calibration的波長板量測結果 原因: 光通路被遮蔽或燈泡沒亮。
對策: 請檢查量測時的光軸路徑,是否有被干涉或者遮蔽。另外也需檢查燈泡是否正常發亮。


 

◎MPRT系列

項次 異常訊息/狀態 排除說明
(1) scroll speed is fast 原因: 畫面捲動速度過快,導致CCD Camera無法正確抓取畫面。
對策: 請依大塚提供的ScrollSpeed計算資料,將MPRT軟體中的捲動速度降低。
(2) Detect line error 原因: 畫面解析度過高 or 畫面閃爍。
對策: 請將工作距離拉遠,並提高CCD Pixel數由100變更為150。
(3) Check and Ajust Iris of Camera      原因: 樣品光源不足。
對策: 調整光圈IRIS使其進光量增加。
(4) communication Error 原因: 通訊異常。
對策: 查看裝置驅動程式是否遺失,重新安裝驅動程式。

 

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