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以反射率的光干涉量測，可同時分析膜厚、光學常數(n、K值)、絕對反射率。
可搭配顯微鏡可量測小面積區域(spot 3μm以上)，量測範圍由1nm~開始。
相關技術應用可參考📖 技術文章-膜厚儀📖
應該如何選擇膜厚儀🔖膜厚計推薦選擇指南🧾
也可以直接洽詢我們📞洽詢膜厚相關設備📧
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無須搬送one through、降低Wafer的汚染與高效率的Wafer量測提案可裝載安裝於連接埠區域上