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MCPD series
膜厚光譜分析儀系統MCPD series
以高速、高感度量測紫外光、可見光、近紅外光光譜為主的多通道分光光譜儀,搭配耐彎曲的光纖以及多樣化套件,可發揮極佳的靈活度,自由架設於各種環境。再加上本公司專業的分光檢測技術,提供給客戶“最滿意的光學檢測系統。
■系統構成範例
膜厚量測(分光光譜儀 + 顯微鏡)
影印機感光鼓膜厚度量測
気水界面膜量測
蒸餾膜量測
多點膜厚量測
■應用範圍
半導體晶圓膜(氧化膜、氮化膜、光阻膜)
光阻剝離液厚度、濕狀薄膜
塗布膜(色材膜、蒸鍍膜、接著劑、壓克力樹脂、光碟片膜層、薄膜磁頭)
塑膠膜(PET、PP、PE、PC、Nylon)、機能性薄膜、包裝膜
■系統構成範例
膜厚量測(分光光譜儀 + 顯微鏡)
影印機感光鼓膜厚度量測
気水界面膜量測
蒸餾膜量測
多點膜厚量測
■應用範圍
半導體晶圓膜(氧化膜、氮化膜、光阻膜)
光阻剝離液厚度、濕狀薄膜
塗布膜(色材膜、蒸鍍膜、接著劑、壓克力樹脂、光碟片膜層、薄膜磁頭)
塑膠膜(PET、PP、PE、PC、Nylon)、機能性薄膜、包裝膜
量測項目
- 膜厚
產品資訊
多通道分光光譜儀 MCPD series |
MCPD series 性能&特長 |
![MCPD 概論 9800vis6800 W800 MCPD 概論 9800vis6800 W800](https://www.otsuka-tw.com/upload/more_info_b/ALL_more_info_22D04_iZWGEMP2xD.png)
■通訊模式可自由選擇USB或LAN
通訊模式採用高便利性的USB以及遠端控制所需的LAN。可依照實際現場狀況,規劃出理想的工作環境。
■高速、高感度解析光譜
![MCPD 概論 PDA Fig W800 MCPD 概論 PDA Fig W800](https://www.otsuka-tw.com/upload/more_info_b/ALL_more_info_22D04_fWLoN8mKK4.png)
■耐彎曲光纖可搭配出各種的光學檢測架構
耐彎曲光纖不受限於被測物的形狀或大小,可依照現場地形地物自由地架設出理想的光學系統。無論是搭配顯微鏡架設於大型移動平台、或是安裝於其他裝置內部,皆可發揮出色優異的性能。
MCPD series 經驗&技術 |
![MCPD 概論 PDA Fig option W1280 MCPD 概論 PDA Fig option W1280](https://www.otsuka-tw.com/upload/more_info_b/ALL_more_info_22D04_20RM8Egbti.png)
膜厚光譜分析
反射分光法 |
![膜厚原理 fig 反射分光法1 膜厚原理 fig 反射分光法1](https://www.otsuka-tw.com/upload/more_info_b/ALL_more_info_22D04_ypC3VtwNg7.png)
解析手法所相對應的膜厚量測範圍
![膜厚原理 fig 反射分光法2 w1280 膜厚原理 fig 反射分光法2 w1280](https://www.otsuka-tw.com/upload/more_info_b/ALL_more_info_22D04_vjOFaFEqm7.png)
■波峰-波谷法 (P-V):膜厚0.5μm以上
![膜厚原理 fig 反射分光法 31 波峰-波谷法 (P-V) W800 膜厚原理 fig 反射分光法 31 波峰-波谷法 (P-V) W800](https://www.otsuka-tw.com/upload/more_info_b/ALL_more_info_22D04_MThmsFWWdD.png)
■快速傅立葉轉換法 (FFT):最適用於數1μm膜厚、多層膜
![膜厚原理 fig 反射分光法 32 快速傅立葉轉換法 (FFT) 膜厚原理 fig 反射分光法 32 快速傅立葉轉換法 (FFT)](https://www.otsuka-tw.com/upload/more_info_b/ALL_more_info_22D04_2VGSuqOCEk.png)
■非線性最小平方法 (Curve Fitting):1μm以下膜厚、光學常數 (n , k) 解析
![膜厚原理 fig 反射分光法 4 非線性最小平方法 (Curve Fitting) H420 膜厚原理 fig 反射分光法 4 非線性最小平方法 (Curve Fitting) H420](https://www.otsuka-tw.com/upload/more_info_b/ALL_more_info_22D04_TygieJzQmf.png)
■最適化法(Optimiztion):最適用於生產線上 (In-line) 解析
最適化法是利用自家之演算法技術所開發的膜厚解析手法。由於是藉由已測得之反射率波形與理論波形相比較,
再進行膜厚演算,對不易測得正確反射率光譜的樣品,也可以進行解析並取得膜厚値。
無論是在解析前所需要的原始値,或是在自動解析中,需要變更原始値才可以正確演算膜厚値時,最小平方法介面間的反射都非常的適用。
(參考)橢圓偏光法 |
![膜厚原理 fig エリプソ 5 w800 膜厚原理 fig エリプソ 5 w800](https://www.otsuka-tw.com/upload/more_info_b/ALL_more_info_22D04_03PqCx8MIS.png)
裝置構成
提供最適用的方案滿足各種需求(膜厚量測)
膜厚量測(分光光譜儀 + 顯微鏡) |
![mcpd 膜厚図1 w1280 mcpd 膜厚図1 w1280](https://www.otsuka-tw.com/upload/more_info_b/ALL_more_info_22D04_G73LBGE3G3.png)
彎曲面狀膜厚度量測 蒸餾膜量測 |
![mcpd 膜厚図1彎曲 真空 T2 w1280 mcpd 膜厚図1彎曲 真空 T2 w1280](https://www.otsuka-tw.com/upload/more_info_b/ALL_more_info_22D04_Trn0Qom9ed.png)
多點膜厚量測 |
![mcpd 膜厚図 多分岐 w1280 mcpd 膜厚図 多分岐 w1280](https://www.otsuka-tw.com/upload/more_info_b/ALL_more_info_22D04_GRwjJRrcvB.png)
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