膜厚光譜分析儀系統MCPD series

產品資訊

多通道分光光譜儀 MCPD series

以高速、高感度量測紫外光、可見光、近紅外光光譜為主的多通道分光光譜儀，搭配耐彎曲的光纖以及多樣化套件，可發揮極佳的靈活度，自由架設於各種環境。再加上本公司專業的分光檢測技術，提供給客戶“最滿意的光學檢測系統。繼高動態範圍分光光譜儀「MCPD-9800」後，再增加「MCPD-6800」，更進一步的擴大了應用領域。
 

MCPD series 性能&特長

■多款適用於各種應用領域的光譜儀
　

■通訊模式可自由選擇USB或LAN
　通訊模式採用高便利性的USB以及遠端控制所需的LAN。可依照實際現場狀況，規劃出理想的工作環境。

■高速、高感度解析光譜
　

■耐彎曲光纖可搭配出各種的光學檢測架構
　耐彎曲光纖不受限於被測物的形狀或大小，可依照現場地形地物自由地架設出理想的光學系統。無論是搭配顯微鏡架設於大型移動平台、或是安裝於其他裝置內部，皆可發揮出色優異的性能。
　

MCPD series 經驗&技術

備有豐富的選配套件以及分析軟體。藉由累積的技術與專業知識、提供比客戶需求更進一步的“最佳方案”。
　
 

膜厚光譜分析

反射分光法

光干涉法搭配高速、高精度的自家光譜儀技術，提供非接觸、不破壞樣品的膜厚量測方案。在(圖2)的光學系統中，光譜儀解析量測光源照射在樣品後所得到的反射率，同時進行光學膜厚演算。在(圖1)中，以金屬基板上的膜層為量測對象，光源照射在膜層表面後被反射為 (R1)。光源透過膜層入射在金屬基板與膜層介面間的反射為 (R2)。R1與R2間因光程一長一短的延遲現象而産生相位差，而藉由解析此相位差所得到的反射光譜與屈折率，進而演算膜厚，即稱之為光干涉法。解析手法共有波峰－波谷法 (P-V)，快速傅立葉轉換法 (FFT)，非線性最小平方法 (Curve Fitting)，最適化法 (Optimiztion) 等四種。
　  
　　解析手法所相對應的膜厚量測範圍　
   　

■波峰－波谷法 (P-V)：膜厚0.5μm以上
　

■快速傅立葉轉換法 (FFT)：最適用於數1μm膜厚、多層膜
　

■非線性最小平方法 (Curve Fitting)：1μm以下膜厚、光學常數 (n , k) 解析
　

■最適化法(Optimiztion)：最適用於生產線上 (In-line) 解析
　最適化法是利用自家之演算法技術所開發的膜厚解析手法。由於是藉由已測得之反射率波形與理論波形相比較，
　再進行膜厚演算，對不易測得正確反射率光譜的樣品，也可以進行解析並取得膜厚値。
　無論是在解析前所需要的原始値，或是在自動解析中，需要變更原始値才可以正確演算膜厚値時，最小平方法介面間的反射都非常的適用。
 

（參考）橢圓偏光法

　膜厚10nm以下的超薄膜、基板 (Bulk) 表面之n、k解析
　


 

裝置構成