高精度薄膜解析分光橢偏儀、測定角度可自動調整機構、能對應所有可透光種類的薄膜。以回轉檢光子、位相差板設置自動切換機構使測定精度提升。最小光學膜厚測定範圍從0.1nm到1um.
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