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18Apr.2022
膜厚儀
【光學膜厚量測】手機鏡頭等元件微小面積膜厚要怎麼量?
手機鏡頭的膜厚 |
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因為手機的拍照技術越來越成熟，除了特定pro級玩家以外越來越少人會使用專業的相機進行拍照。
在我們日常生活中，最常在吃飯前幫食物拍照、朋友聚會、風景區合照等等，手機拿起來就可以直接拍。
現在無論哪個廠牌的手機都有不錯的拍照表現，但拍照功能卻也是消費者選擇手機的一大重點。
除了後續的軟體處理以外，其中手機鏡頭的品質也是拍照品質的硬指標。
手機鏡頭品質的好壞很大部分決定了拍照功能，檢測該鏡頭的技術就是十分重要的。
大塚身為專業光學廠商，當然也不會缺席。
微小面積膜厚樣品的難處 |
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因為手機鏡頭一般面積都不大(大部分都不會超過0.5cm)，其中又有一些曲度的關係，這時候顯微對焦的反射式膜厚儀OPTM就派上用場了。
OPTM配備有微小量測面積(最小約5μm），且有鏡頭掃描功能。搭配CCD鏡頭可以確認量測點位的狀態。
另外OPTM也是量測絕對反射率的機台，在鏡頭上也能得到反射率的寶貴資訊。
手機鏡頭膜厚實測 |
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量測條件
- 檢出器 ：OPTM-A1
- 光源：I2D2
- 測量波長範圍：230~800nm
- 測定Spot Size：5 um φ(物鏡40倍)
- Reference : Al
- 自動曝光時間 : 588msec
- 積算回數 : 9 次
實際樣品與量測結果
反射光譜圖型與fitting
可由反射圖譜經由數據處理後得到樣品各層厚度以及光學常數(n.k值)，另外因為是使用原始數據反射率的關係，可一併得到絕對反射率等寶貴參數。
連續10次量測再現性
上述預測值與量測值可能是因為量測點位無法100%一致的關係，而有些許差異，但可由重複量測的數據得到機台的穩定度等相關資訊。
連續10次量測再現性
元件的膜厚量測技巧 |
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其應用並不限於手機鏡頭，例如電路板、半導體封裝等等需要檢測小面積的產品上都能得到很好的發揮。
另外OPTM除了紫外光波段的230~800nm的光譜波段外，也有360~1100nm的近紅外光譜波段可供選擇，可以得到該波段下的反射率。
想更加深入了解小光斑的量測技巧，歡迎聯繫我們。
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