線上免費研討會

【掌握前沿光學膜厚量測技術 : 認識光干涉的原理與應用】

膜厚研討會
 
我們將介紹最新的光學膜厚量測技術,包括光干涉的原理與應用。在本次研討會中我們為您簡介如何使用光學量測儀器量測薄膜的厚度,精確掌握產品的品質控制與生產效率。我們將與您分享最佳的實踐方法與技巧。
【場次1】2023/06/28 15:00~16:00
【場次2】2023/07/05 14:00~15:00

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【固體表面電位解密:板狀、薄膜狀樣品表面電位量測方法與範例介紹】

固體表面電位研討會 (1)

 
固體表面電位是大塚電子ELSZ特色的量測項目,主要使用電氣泳動法配合電滲流解析做量測。
其不僅可以解析固體本身的電位,也可以進一步置換液相容液觀察固體與液體相間的交互作用。
利用電荷的吸引或斥力,可以延伸出許多研究方向。
【場次1】2023/08/17 14:00~15:00

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18Apr.2022
膜厚儀

【光學膜厚量測】手機鏡頭等元件微小面積膜厚要怎麼量?

手機鏡頭的膜厚

現代人智慧型手機不離身,手機的攝影技術已經逐漸成熟。
因為手機的拍照技術越來越成熟,除了特定pro級玩家以外越來越少人會使用專業的相機進行拍照。
在我們日常生活中,最常在吃飯前幫食物拍照、朋友聚會、風景區合照等等,手機拿起來就可以直接拍。
現在無論哪個廠牌的手機都有不錯的拍照表現,但拍照功能卻也是消費者選擇手機的一大重點。
除了後續的軟體處理以外,其中手機鏡頭的品質也是拍照品質的硬指標。
手機鏡頭品質的好壞很大部分決定了拍照功能,檢測該鏡頭的技術就是十分重要的。
大塚身為專業光學廠商,當然也不會缺席。
 

微小面積膜厚樣品的難處

手機的鏡頭裡通常一塊元件都有很多層膜,以控制鏡頭的光學性質。
因為手機鏡頭一般面積都不大(大部分都不會超過0.5cm),其中又有一些曲度的關係,這時候顯微對焦的反射式膜厚儀OPTM就派上用場了。

OPTM配備有微小量測面積(最小約5μm),且有鏡頭掃描功能。搭配CCD鏡頭可以確認量測點位的狀態。
另外OPTM也是量測絕對反射率的機台,在鏡頭上也能得到反射率的寶貴資訊。
 

手機鏡頭膜厚實測

量測條件

  • 檢出器 :OPTM-A1
  • 光源:I2D2
  • 測量波長範圍:230~800nm
  • 測定Spot Size:5 um φ(物鏡40倍)
  • Reference :  Al
  • 自動曝光時間  :  588msec
  • 積算回數  : 9 次
OPTM stage SQ 430x430


實際樣品與量測結果

手機3
手機5

反射光譜圖型與fitting

可由反射圖譜經由數據處理後得到樣品各層厚度以及光學常數(n.k值),另外因為是使用原始數據反射率的關係,可一併得到絕對反射率等寶貴參數。

手機鏡頭反射率光譜1

連續10次量測再現性

上述預測值與量測值可能是因為量測點位無法100%一致的關係,而有些許差異,但可由重複量測的數據得到機台的穩定度等相關資訊。

手機鏡頭反射率光譜1


 
 
 

連續10次量測再現性

手機4

元件的膜厚量測技巧

與橢圓偏光儀相比,反射式的顯微分光膜厚因為可以聚焦的關係,有可以量測非常小面積的膜厚值優勢,
其應用並不限於手機鏡頭,例如電路板、半導體封裝等等需要檢測小面積的產品上都能得到很好的發揮。
另外OPTM除了紫外光波段的230~800nm的光譜波段外,也有360~1100nm的近紅外光譜波段可供選擇,可以得到該波段下的反射率。

想更加深入了解小光斑的量測技巧,歡迎聯繫我們。
 

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