Linescan

LineScan線上膜厚檢測系統

線上全膜全幅寬檢查裝置。
◎獨自開發的光干涉法與高精度膜厚演算處理技術,最短量測時間間隔0.01秒
◎採用Linescan全幅寬掃描的線上膜厚檢測系統
◎軟硬體獨自開發光學系統
◎高精度全幅掃描(獨家專利)
◎高速量測全膜面內分布(最短0.01sec)
◎1台使用時對應幅寬為50cm(最大可對應10M幅寬)

量測項目

  • 膜厚

產品資訊

特色
◎採用Line Scan方式,實現無"遺漏"的全面Film檢查
 以往的自動量測方式,於薄膜製程的膜厚是點的量測,無法做全面檢查。不符合標準的周圍部分全部切除廢棄,提升良率及生產效率是需要克服的課題。
LineScan方式 点-線 T4 W800

◎膜厚量測專業製造商才能提供的完善厚量測系統
 LineScan方式的膜厚計,採用獨自開發的光干涉法的組合高速、高精度膜厚演算技術,實現最短0.01秒間隔,500mm幅寬(使用1台時)的全面膜厚量測。 
 寬幅度的薄膜也可裝置多台檢出器得到相同的結果。
LineScan 測定から結果流れ 測定 W1280

◎LineScan方式的檢查方式,可達成全幅、全長的量測,精準判斷在膜厚基準外的部分。
 不易受到薄膜的分布及皺褶影響,期待貢獻在各個領域上薄膜品的品質管理上更加精進。
LineScan ムラ

◎可在桌上輕鬆檢查面內膜厚不均 (Off Line type)
LineScan OffLine type role to role SQ 685x685
 
量測項目
⦿薄膜的厚度 (全幅、全長量測)​​​​​
LineScan  測定結果画面 ヌキ W800
 
量測對象
⦿光學薄膜、膠粘膜、包裝薄膜、導電薄膜
Film アッセンブリー 製品 fig icon W800


 
產品介紹影片

提升薄膜品質良率,邀請您試看看「LineScan膜厚計」! 

以往的自動量測方式,於薄膜製程的膜厚是點的量測,無法做全面檢查。不符合標準的周圍部分全部切除廢棄,提升良率及生產效率是需要克服的課題。

大塚電子開發的LineScan膜厚計,採用獨自開發的光干涉法的組合高速、高精度膜厚演算技術,實現最短0.01秒間隔,500mm幅寬(使用1台時)的全面膜厚量測。 

藉由薄膜全面LineScan檢查方式,可達成全幅、全長的量測,精準判斷在膜厚基準外的部分。

此外,寬幅度的薄膜也可裝置多台檢出器得到相同的結果。並且,不易受到薄膜的分布及皺褶影響,期待貢獻在各個領域上薄膜品的品質管理上更加精進。 

 

 







 

規格樣式

  InLine樣式 OffLine樣式
膜厚範圍 0.7~300 μm
量測幅寬 500 mm~最大 10 m 250 mm
量測間隔 10 ms~
尺寸(W×D×H) 81×140×343 mm 459×609×927 mm
重量 4 kg(量測頭部分) 60 kg
電源 AC100 V±10% 125VA
 
InLine樣式
 一連検出器(TD: max.500mm)
  三連検出器(TD:max.1500mm)
OffLine樣式

量測範例


LineScan 測定から解析 W1280


 
Application

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