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Linescan
LineScan線上膜厚檢測系統
線上全膜全幅寬檢查裝置。
◎獨自開發的光干涉法與高精度膜厚演算處理技術，最短量測時間間隔0.01秒
◎採用Linescan全幅寬掃描的線上膜厚檢測系統
◎軟硬體獨自開發光學系統
◎高精度全幅掃描(獨家專利)
◎高速量測全膜面內分布(最短0.01sec)
◎1台使用時對應幅寬為50cm(最大可對應10M幅寬)
◎獨自開發的光干涉法與高精度膜厚演算處理技術，最短量測時間間隔0.01秒
◎採用Linescan全幅寬掃描的線上膜厚檢測系統
◎軟硬體獨自開發光學系統
◎高精度全幅掃描(獨家專利)
◎高速量測全膜面內分布(最短0.01sec)
◎1台使用時對應幅寬為50cm(最大可對應10M幅寬)
量測項目
- 膜厚
產品資訊
無遺漏的全面線上膜厚檢查 |
以往的自動量測方式，於薄膜製程的膜厚是點的量測，無法做全面檢查。不符合標準的周圍部分全部切除廢棄，提升良率及生產效率是需要克服的課題。
◎膜厚量測專業製造商才能提供的完善厚量測系統
LineScan方式的膜厚計，採用獨自開發的光干涉法的組合高速、高精度膜厚演算技術，實現最短0.01秒間隔，500mm幅寬(使用1台時)的全面膜厚量測。
寬幅度的薄膜也可裝置多台檢出器得到相同的結果。
◎LineScan方式的檢查方式，可達成全幅、全長的量測，精準判斷在膜厚基準外的部分。
不易受到薄膜的分布及皺褶影響，期待貢獻在各個領域上薄膜品的品質管理上更加精進。
◎可在桌上輕鬆檢查面內膜厚不均 (Off Line type)
LineScan線上膜厚檢測系統軟體畫面 |
LineScan線上膜厚檢測系統量測對象 |
LineScan線上膜厚檢測系統介紹影片 |
提升薄膜品質良率，邀請您試看看「LineScan膜厚計」!
以往的自動量測方式，於薄膜製程的膜厚是點的量測，無法做全面檢查。不符合標準的周圍部分全部切除廢棄，提升良率及生產效率是需要克服的課題。
大塚電子開發的LineScan膜厚計，採用獨自開發的光干涉法的組合高速、高精度膜厚演算技術，實現最短0.01秒間隔，500mm幅寬(使用1台時)的全面膜厚量測。
藉由薄膜全面LineScan檢查方式，可達成全幅、全長的量測，精準判斷在膜厚基準外的部分。
此外，寬幅度的薄膜也可裝置多台檢出器得到相同的結果。並且，不易受到薄膜的分布及皺褶影響，期待貢獻在各個領域上薄膜品的品質管理上更加精進。
規格樣式
| InLine樣式 | OffLine樣式 | |
|---|---|---|
| 膜厚範圍 | 0.7～300 μm | |
| 量測幅寬 | 500 mm～最大 10 m | 250 mm |
| 量測間隔 | 10 ms～ | |
| 尺寸(W×D×H） | 81×140×343 mm | 459×609×927 mm |
| 重量 | 4 kg(量測頭部分) | 60 kg |
| 電源 | AC100 V±10% 125VA | |
| InLine樣式 |
一連検出器（TD: max.500mm）
三連検出器（TD:max.1500mm）
| OffLine樣式 |
量測範例
technical article
技術文章
-
02Nov.2022【膜厚計種類指南】了解膜厚計技術原理，應用範圍一把抓
市面上膜厚計百百款該怎麼選擇?哪種量測方比較適合我的樣品?
考量不同膜層材質種類、設置場所、預算等等有不同選擇。
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