MINUK

光波動場三次元顯微鏡 MINUK

MINUK可直接量測nm等級的透明異物・缺陷・表面輪廓等。
不僅只於表面,1次可直接取得深度方向的所有情報。
以非破壊・非接觸式量測的裝置。
並且不需要對焦,可以高速量測自由決定樣品任意位置。

量測項目

  • nm級非接觸3D顯微成像

產品特色

產品特色

  • nm等級的透明異物・缺陷量測評價
  • 不僅只於表面,1次取樣瞬間取得深度方向的情報
  • 無需對焦即可高速量測
  • 非破壞・非接觸・非侵入式量測
  • 輕鬆掃描量測面內任意位置深度
 

光波動場三次元顯微鏡介紹影片

MINUK操作說明

 

👉什麼是MINUK⁉️

MINUK是取自日文的「見抜く」(みぬく)讀音,義為一眼看穿事物的真相、看到事物的最深層。
以MINUK僅需一次取樣即可快速獲得所有深度方向的情報,「看穿」待測物的所有一切。

規格樣式

光波動場三次元顯微鏡 MINUK
解析度 x,y 691nm(一次取樣)、488nm(合成)
視野 x,y 700×700μm
解析度 z 10nm(位相差)
視野 z ±700μm
樣品尺寸 100×80×t20mm(使用泛用載台時)
樣品載台 微調XY載台(自動)
X:±10mm Y:±10mm
粗調載台
X:129mm Y:85mm
雷射光源 波長 638nm
功率 0.39mW 以下 Class1 (量測樣品的照射強度)
機台尺寸 機台本體:505(W)×630(D)×439(H) ±20mm
※不含電腦、附屬品
重量 約 41kg
電力 機台本體:290VA 
※不含電腦、附屬品

量測範例

將肉眼不可見的透明薄膜表面可視化・定量化

以非接觸・非破壊・非侵入方式取得nm奈米等級的形狀情報。一次取樣即可取得深度方向的所有情報,將肉眼不可見的透明薄膜表面的傷痕、缺陷等橫切面形狀數值化。MINUKのHPデータ1(2)

觀察透明薄膜內部的填充料

肉眼不可見的透明薄膜內部的填充料,由一次取樣即可觀察。量測後可自由改變深度方項,識別各個深度的填充料。
MINUKのHPデータ2
 

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