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MINUK
光波動場三次元顯微鏡 MINUK
MINUK可直接量測nm等級的透明異物・缺陷・表面輪廓等。
不僅只於表面,1次可直接取得深度方向的所有情報。
以非破壊・非接觸式量測的裝置。
並且不需要對焦,可以高速量測自由決定樣品任意位置。
不僅只於表面,1次可直接取得深度方向的所有情報。
以非破壊・非接觸式量測的裝置。
並且不需要對焦,可以高速量測自由決定樣品任意位置。
量測項目
- nm級非接觸3D顯微成像
產品特色
產品特色
- nm等級的透明異物・缺陷量測評價
- 不僅只於表面,1次取樣瞬間取得深度方向的情報
- 無需對焦即可高速量測
- 非破壞・非接觸・非侵入式量測
- 輕鬆掃描量測面內任意位置深度
光波動場三次元顯微鏡介紹影片
MINUK是取自日文的「見抜く」(みぬく)讀音,義為一眼看穿事物的真相、看到事物的最深層。以MINUK僅需一次取樣即可快速獲得所有深度方向的情報,「看穿」待測物的所有一切。
規格樣式
光波動場三次元顯微鏡 MINUK | |
---|---|
解析度 x,y | 691nm(一次取樣)、488nm(合成) |
視野 x,y | 700×700μm |
解析度 z | 10nm(位相差) |
視野 z | ±700μm |
樣品尺寸 | 100×80×t20mm(使用泛用載台時) |
樣品載台 | 微調XY載台(自動) X:±10mm Y:±10mm 粗調載台 X:129mm Y:85mm |
雷射光源 | 波長 638nm 功率 0.39mW 以下 Class1 (量測樣品的照射強度) |
機台尺寸 | 機台本體:505(W)×630(D)×439(H) ±20mm ※不含電腦、附屬品 |
重量 | 約 41kg |
電力 | 機台本體:290VA ※不含電腦、附屬品 |
量測範例
將肉眼不可見的透明薄膜表面可視化・定量化
以非接觸・非破壊・非侵入方式取得nm奈米等級的形狀情報。一次取樣即可取得深度方向的所有情報,將肉眼不可見的透明薄膜表面的傷痕、缺陷等橫切面形狀數值化。觀察透明薄膜內部的填充料
肉眼不可見的透明薄膜內部的填充料,由一次取樣即可觀察。量測後可自由改變深度方項,識別各個深度的填充料。檔案下載
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