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SMART手持式光學膜厚計

【輕巧便攜✨】零經驗也能用！SMART智慧膜厚計 ⭕高精度・非破壞・隨身攜帶⭕

●可攜帶到現場的手持式輕量機型(約1.1Kg)
●0.1μm單位的量測精度,0.01μm的重複精度
●以非破壞式量測各類形狀的樣品
●不限定基材材質，可量測coating膜層
●不需要量測經驗，可快速得到精準的膜厚結果
●量測範圍1~50μm
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量測項目

  • 膜厚

產品資訊

【輕巧便攜✨】零經驗也能用！SMART智慧膜厚計 ⭕高精度・非破壞・隨身攜帶⭕

Smart

SMART手持式膜厚計產品特色

📌可攜帶到現場的手持式輕量機型(約1.1Kg)

•輕量、便利
•可在現場直接量測

📌0.1μm單位的量測精度、0.01μm的重複精度

•遠高於任何手持式膜厚計的高精度

📌以非破壞式量測各類形狀的樣品

•曲面
•複雜形狀

📌不限定基材材質，可量測coating膜層

•高分子、玻璃等也OK
 

SMART手持式膜厚計與其他膜厚計的比較
 

  • 與桌上型光學膜厚計相比..
    👍SMART膜厚計在"現場"以非破壞式直接量測樣品，且可以量測特殊形狀樣品。

桌上型2

  • 與接觸式膜厚計相比..
    👍SMART膜厚計不僅不會破壞您的樣品，也不會因為使用者不同而產生誤差且遠高於接觸式膜厚計的量測精度。

接觸式
 

  • 與渦電流/電磁式膜厚計相比..
    👍SMART膜厚計不需要製作檢量線，且可以量測非金屬基材並且得到絕對值!

圖片4

 

不需要量測經驗，可快速得到精準的膜厚結果

手持式膜厚計

膜厚量測原理:光干涉法
光干涉原理

售後服務

售後服務方案

「SMART光學解決方案——卓越精準、最大效率，帶來可靠結果與專屬售後服務！」增加效率, 減少成本, 加快修復時間
配合您的需求提供各種服務方案供您自由選擇!
於裝機後3個月內加入還享有特別折扣以及延長保固喔!
  方案內容
Service Plan S(super)   2年期 •2年期。內含2次符合ISO規定的定期點檢作業。以及第二年電池無償更換服務。
•設備維修費用免支出，所有維修用部品無償 (僅Fiber&LCD 組成有自負額)。
•故障時幾乎完全無須擔心額外的費用支出，且能夠得到最全面快速的維修服務。可無償借出備用機。.
•推薦給成本管理高度要求以及對設備性能高度依賴的客戶。
Service Plan B(basic)   1年期 •1年期。內含1次符合ISO規定的定期點檢作業。
•設備維修費用免支出，所有維修用部品無償 (僅Fiber&LCD 組成有自負額)。
•故障時幾乎完全無須擔心額外的費用支出，且能夠得到最全面快速的維修服務。
•設備操作相關的疑問能夠得到即時諮詢回覆，故障時也能夠安心。
•推薦給希望輕鬆管理設備的客戶。
Service Plan L(lite)       1年期 •1年期。內含1次符合ISO規定的定期點檢作業。
•享有專任售服工程師對應窗口以及免費的回廠檢修服務 (故障維修用之部品費用另計)。
•消除對於設備操作相關的疑問所產生的不安，也能維持設備的穩定性與信賴性。
•推薦給ＩＳＯ管理制度內的客戶。
*售後服務方案價格及詳細內容，請洽業務或是服務工程師窗口。
 

加入服務方案的好處

透過導入手持式光學膜厚計並搭配大塚科技完善的售後維護方案，可獲得以下服務：
  未加入 有加入
安心使用 當需要諮詢機台相關疑問時，需透過派工程序等待售服工程師回覆。 1.專人服務：可以直接連絡售服專員，解答機台相關疑問。
2.機台操作教育訓練。
3.消耗品快速到貨服務。
定期點檢 機台未定期點檢可能處於量測精準度不佳或機台動作異常狀態。 1.確保機台性能：內含定期點檢校正作業
2.適時維護機台，維持正確量測, 提升機台稼動率。
故障對應 故障部品&維修作業的調度，依接單維修流程實施。
會有部品交期的不確定性。		 1.優先排序服務。
2.維修用部品安全庫存&快速到貨。
3.大幅減少復機時間
安心服務
(會員優惠)		 一年保固,自然損壞無償對應，之後依單次叫修有償服務受理。 1.三年保固期活動。 (PS: 裝機後3個月內加入會員)
2.導入優惠價格。 (PS: 裝機後3個月內加入會員)
3.還原金優惠價格。
4.主動提醒定期點檢, 機台相關保養資訊。
5.不定期軟體升級服務。
6.Fiber&LCD小額自負額。
7.免費檢修，修理用部品需將另行報價(回送大塚科技)。

 

常見問題
 
🔍什麼樣的樣品適合用手持式光學膜厚計量測?
→手持式光學膜厚計適合單層、透光、厚度範圍在1~50μm（下限0.8μm、上限60μm）
🔍手持式光學膜厚計比起其他攜帶型的膜厚有什麼優勢?
→手持式光學膜厚計不會破壞您的樣品，且提供遠超於其他攜帶型膜厚計的量測精度。適合多種平面或特殊形狀的樣品量測需求。
🔍手持式光學膜厚計有什麼消耗品嗎?
→電池:手持式光學膜厚計使用充電電池，類似我們使用的手機在使用幾年以後會有充電量逐漸下降的現象。大塚科技提供電池更換服務，加入售後服務方案Splan更提供一次免費更換的服務!
🔍手持光學膜厚計有試用的服務嗎?
→我們提供客戶購入前的免費DEMO服務，確保您的產品可適用於手持光學膜厚計。快點擊右邊的立即洽詢吧!

 

規格樣式

SMART手持式膜厚計規格
量測原理 反射分光法(光干涉法)、非破壞性量測
膜厚量測範圍 1~50μm(顯示範圍0.8~60μm)
重複精度 2.1σ≦0.01μｍ（SiO2膜１μｍ）
量測時間 1秒內
量測層數 1層
數據輸出 附屬操作螢幕顯示或以USB輸出Excel檔案
量測Spot Φ1ｍｍ以下
重量 約1.1kg
尺寸 約138(W)×198(D)×61(H)mm
※含突起部分
電源 電源電壓 ：AC100-240V
電源頻率：50/60Hz
消耗功率   ：35VA（AC充電器輸入）
防護等級 IP30 / IK06

選配


 
  • ■非接觸式載台
    對於濕膜或半導體晶圓等不想接觸的樣品，可以透過自由設定探頭位置進行非接觸測量。
  •  
  •  



 

使用場景

產品開發-量測試作品

1.攜帶到合作廠商等，直接在現場量測效率Up
2.試作階段的檢查方法商定效率Up
 

產線-設定產線參數、提高良率

1.現場可直接量測，無須準備，量測時間短、效率Up
2.產品檢查的早期階段發現問題,事後的對策更加靈活
 

品質管理-品管效率Up

1.現場可直接量測高精度量測成品，盡早發現不良品異狀
2.事後的對策可更加靈活
 

After Service-活用可攜帶的優點

在產品出貨後的客戶端也可直接帶去量測。
現場較難量測的立體物、無法切割破壞的樣品(例如:窗戶的Coating等)。
 
 
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