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【關鍵突破:2024先進材料精準粒子分析研討會】


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本次研討會主題為「2024先進材料精準粒子分析研討會」,超過半世紀粒徑分析開發經驗的大塚電子株式會社的日本量測技術負責人分享最新的應用與量測上的knowhow,各種意想不到的界達電位、粒徑大小、表面電位等在各領域的關鍵突破。 此外,工研院背景的新銳公司邑流微測分享包括半導體及生醫製藥等熱門領域,聚焦在潔淨、智慧製造等關鍵字,引領ESG最新潮流。。
【新竹場】2024/05/21 13:00~
【台中場】2024/05/22 13:00~
【高雄場】2024/05/23 13:00~
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21Sep.2023
膜厚儀

光干涉原理是什麼?5大應用範疇,專家帶你深入了解!

目錄
1.光干涉是什麼?認識原理 深入運用
2.光干涉2大類型介紹
3.光干涉應用有哪些?5大範疇 領域廣泛
4.光干涉應用儀器推薦

光干涉原理,可涉及到光學、材料科學等多個學科。且在各種技術和工業領域中,也都有著廣泛的應用,例如:光學儀器的校準、生物醫學成像與精密的物質測量等。當兩束或多束同頻率的光波在相同的空間中重疊時,由於它們的相位差異,會產生明暗交替的干涉條紋。而這種現象不僅揭示了光的波動性,更為現代科技帶來了無數的校準與應用的可能性!
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光干涉是什麼?認識原理 深入運用

所謂的「光干涉」,是指光波在空間中相遇或疊加時,由於光波特性而產生的干涉現象。而「光干涉」是一種波動現象,此現象可以用「波動光學理論」來解釋,其核心概念包括以下幾點: 
  • 光波的疊加

光波是一種電磁波,具有振幅、波長和頻率等特性;當兩個或多個光波相遇時,它們的振幅會簡單相加,形成新的「合成波」。
  • 相位差

在光波疊加時,如果兩個波的相位(即波的起始位置)不同,就會發生相位差。相位差,決定了光波疊加後的合成波的振幅,從而影響干涉現象的結果。
  • 干涉條紋

當兩束光波疊加時,若其相位差是固定的並且在一定範圍內變化,就會形成「干涉條紋」。「干涉條紋」是指明暗相間的波紋狀圖案,是因為光波的疊加和相位差影響而產生。
  • 自然界中常見的干涉現象

光通過於空中的氣泡後,所產生的干涉現象。

光干涉2大類型介紹

類型 說明
建設性干涉 建設性干涉發生在光波疊加時增強振幅,形成明亮的區域
破壞干涉 破壞干涉則是振幅相消,形成暗淡的區域;光的波長越大,形成的干涉圖案亮紋寬度會越大

光干涉
光干涉應用有哪些?5大範疇 領域廣泛

光干涉原理,在許多領域都有應用,例如:干涉儀器、干涉光柵等。而著名的干涉實驗有:楊氏雙狹縫實驗和邁克生干涉儀(Michelson interferometer)。 這些實驗和應用,皆有助於研究光波的性質,以及應用於測量、圖像處理和科學研究等領域。光干涉原理可應用於多種檢測和測量領域,常見的應用有以下5種:
  • 薄膜厚度測量

光干涉技術,可以用來測量透明薄膜的厚度。可通過觀察干涉條紋的變化,來推斷薄膜的光程差,從而確定其厚度。適用於:透明光學材料薄膜的量測。
  • 折射率測量

光干涉技術,可以通過測量材料中光的相位差來計算折射率,對於在材料研究、光學元件製造等領域非常有用。
  • 表面形狀測量

光干涉,可以用於測量物體表面的形狀、高度差、凹凸度等。並經由分析干涉條紋的變化,得到物體表面的形狀等資訊。適用於:製造業中的精密表面質量檢測。
  • 光學元件檢測

光干涉技術,可以用來檢測光學元件的性能,如:透鏡的曲率、平面度,光柵的參數等。
  • 其他應用

氣體濃度測量、機械震動與變形測量、非破壞性材料檢測與生物醫學等領域,皆被廣泛的應用。

光干涉應用儀器推薦

以光干涉法來量測薄膜厚度及折射率等技術,目前已十分成熟。尤其是在半導體光學元件、光學薄膜的製程或材料的研發實驗室裡,皆可見到顯微分光量測儀。而非接觸式的量測可同時量測反射率、膜厚及光學係數;達到即時監控的目的,且不會傷害樣品,快速且精準的達成量測目標。

【10分鐘了解光學膜厚】

 

光干涉法量測膜厚原理說明

膜厚是多個產業都需要監控的物性值,以光學式可以達到快速、非破壞、高精度、聚焦小面積等特性,為您介紹光干涉法的原理以及適用範圍。

👉重點段落
0:00 為什麼要量測膜厚?
0:57 膜厚量測的各種方法
2:02 光學如何量測膜厚?
5:11 顯微分光膜厚計OPTM
6:01 專利鏡頭高精度量測以及光學膜厚量測波段選擇
7:43 高速與聚焦小光斑量測
8:25 反射式顯微分光vs橢圓偏光儀

光學式膜厚計的準確度,可以根據不同的儀器類型、設計和製造品質而有所不同。一般來說,光學式膜厚計的準確度,分為以下6個面向:

👉 分辨率(Resolution)

指儀器,能夠區分的最小膜厚變化。高分辨率的膜厚計,能夠檢測較小的膜厚變化,提供更精確的結果。

👉 靈敏度(Sensitivity)

靈敏度,是表示儀器對膜厚變化的敏感程度。擁有較高的靈敏度,就意味著儀器可以檢測到較小的膜厚變化,從而提高測量的準確度。

👉 測量範圍(Measurement Range)

測量範圍,指的是儀器可以測量的膜厚範圍。通常,較大的測量範圍可應對不同厚度的薄膜樣品。但在極端情況下,測量範圍過大可能會影響準確度。

👉 校正

光學式膜厚計的準確度,還會受到校正的影響。定期的校正,可以確保儀器的準確性。因為光學元件和訊號處理系統,可能會隨著時間變化或受到環境影響而產生誤差。

👉 光源穩定性

儀器所使用的光源穩定性,對準確度來說也很重要。光源的穩定性,可直接影響到干涉條紋的穩定性,從而影響膜厚計的準確度。

👉 材料特性和複雜度

膜厚計的準確度,也取決於被測量材料的特性和複雜度。不同的薄膜結構,可能會導致不同的干涉模式,是需要適當的方法來處理。
OPTM產品頁


顯微分光膜厚量測儀OPTM,在薄膜的膜厚量測上有優異的表現,從1奈米薄膜的厚度、到數十微米厚膜量測;具備多層膜堆疊結構、長時間量測穩定性、不受透明基板背反射影響等等,相較於傳統橢圓偏光儀快速且精準的量測頗為業界推崇。想知道更多關於光干涉的相關資訊,也可以技術文章看看喔!
 

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