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18Feb.2022
膜厚儀
【光學膜厚量測】陶瓷鈦酸鋇材料膜厚量測
用於陶瓷電容器之鈦酸鋇材料，具有高介電係數、高電阻率及低汙染等特性，廣泛用於陶瓷電容器、電阻器方面。
為提升品質，準確監控材料膜厚成為必然。
將鈦酸鋇塗於PET基材上，以膜厚儀掃幅寬方向20點位置，即可得到全膜幅寬之厚度分布情形，可有效監控全面厚度。
白色粗糙材質容易造成光散亂，使光學式干涉波形無法完整呈現；故使用近紅外光波長段，降低材質造成干擾，量測其厚度。
| 量測條件 |
|---|
量測項目：反射膜厚
波長範圍：900~1600nm
自動曝光時間：16ms
積算回數：4
測定spot size：4mm
| 量測結果 |
|---|
薄膜鈦酸鋇及再現性
即使厚度僅有0.8μm也可直接測得
連續量測十次再現性，跳動性僅有0.3nm、樣品厚度的0.01%。
使用高感度光譜儀量測鈦酸鋇等陶瓷材料厚度，可快速準確量得單點及面內多點厚度分布情況。
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