Manufacturing Process

製造流程

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    ARRAY

    成膜 ▶▶ 光阻塗布 ▶▶ 曝光 ▶▶ 蝕刻 ▶▶ 去除光阻劑

項目 對應機種
膜厚 OPTM
Plasma End-point Monitor MCPD
光阻液粒徑、界達電位 ELSZ
蝕刻液粒徑、界達電位 ELSZ
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