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Manufacturing Process
製造流程
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ARRAY
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Color Filter
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Cell
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模組製程
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品質管理
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AARRAY
成膜 ▶▶ 光阻塗布 ▶▶ 曝光 ▶▶ 蝕刻 ▶▶ 去除光阻劑
應用相關機種
| 項目 | 對應機種 |
|---|---|
| 膜厚 | OPTM |
| Plasma End-point Monitor | MCPD |
| 光阻液粒徑、界達電位 | ELSZ |
| 蝕刻液粒徑、界達電位 | ELSZ |
technical article
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