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TLCF-20M-SF
彩色濾光片色度檢查 小型高精細顯微分光測定裝置 TLCF-20M-SF
●長年深耕台灣、LCF系列的業界銷售實績超過200餘台。輕鬆量測微小畫素、減少人為誤差
●Auto Focus全自動對焦量測功能:即使彩色光阻面內塗佈均勻性有差異也能精確對焦
●Auto Alignment全自動對位功能:不需手動執行量測位置的對位
●Spot size φ2um & φ10um (option)相互切換:φ2um對應微小畫素和φ10um對應TV畫素
●小型TLCF-20M-SF (X-Y平台:手動)體積小利於空間規劃。落地式設備
●Auto Focus全自動對焦量測功能:即使彩色光阻面內塗佈均勻性有差異也能精確對焦
●Auto Alignment全自動對位功能:不需手動執行量測位置的對位
●Spot size φ2um & φ10um (option)相互切換:φ2um對應微小畫素和φ10um對應TV畫素
●小型TLCF-20M-SF (X-Y平台:手動)體積小利於空間規劃。落地式設備
量測項目
- 穿透、吸收光譜
- 反射光譜
- 膜厚
- 色差 Color difference
- 色度 Chromaticity
- 光學濃度
- 色度座標(x・y)、色度座標(u・v)・(u’・v’)
產品資訊
產品特色 |
桌上型彩色濾光片檢測設備LCF-6000進化至TLCF-20M-SF
對應微小畫素檢測功能可使用最小Spot size φ2um
最適用於智慧型面板高穿透彩色光阻濾光片的檢測
值得信頼的技術 |
- 長年深耕台灣、LCF系列的業界銷售實績超過200餘台。輕鬆量測微小畫素、減少人為誤差
- Auto Focus 全自動對焦量測功能:即使彩色光阻面內塗佈均勻性有差異也能精確對焦
- Auto Alignment 全自動對位功能:不需手動執行量測位置的對位、系統自動執行 RGB 各 Dot 中心位置的高精度對位與量測
- 採用光譜儀MCPD-9800:提供產品高信賴度的量測方案。大幅減少量測時所需的曝光時間
- LCF系列均使用長動作距離顯微鏡、可有效減少產線與實驗室間的機差問題
- 使用標準配備之畫素對位用CCD camera、可同時進行圖像解析與儲存量測數值
量測時顯示畫面 Auto Alignment功能 量測點圖像的解析與保存
智慧型面板彩色濾光片對應技術 |
- Spot size φ2um & φ10um (option)相互切換:φ2um對應微小畫素可增加信賴性和φ10um對應TV畫素可節省Tact time
- 氣墊式避震設計、避免環境震動源影響量測值
- 搭配暗室環境可滿足OD5以上的高OD量測需求
- 小型TLCF-20M-SF (X-Y平台:手動) 體積小利於空間規劃。落地式設備、可輕鬆移動便於設置
使用長動作距離顯微鏡 氣墊式避震設計 Spot size 相互切換 小型TLCF X-Y平台
採用光譜儀MCPD-9800
量測項目 |
- 物體色量測法:色度(XYZ, xy, Lab, L*a*b*, u’v’, u*v*)、色差(⊿E*ab, ⊿E*uv)、指定波長的穿透率・指定穿透率的波長檢出
- Option: 光學濃度量測、反射率量測、膜厚量測
應用範圍 |
規格樣式
標準仕様量測Mode | 穿透型CF |
---|---|
量測基板尺寸、 X-Y平台 | 20 x 20 mm - 200 x 200 mm、手動X-Y平台 |
色度解析法 | 物體色量測法 |
量測口徑 (Spot size) | φ2um・ φ10um(option) |
檢出器 | 分光光譜儀MCPD-9800 |
光 源 | Halogen |
評價項目 | 色度(XYZ, xy, Lab, L*a*b*, u’v’, u*v*) 色差(⊿E*ab, ⊿E*uv) 指定波長的穿透率・指定穿透率的波長檢出 量測項目的判定OK/GY/NG |
量測部架台外形尺寸 | 600(W) x 700(D) x 1400(H) mm |
Option
X-Y平台 | 自動X-Y平台 |
量測基板寸法 | 請來電洽詢 |
量測項目・光學濃度量測 | 檢出器:光電子增倍管 Spot size(φ20um、φ2mm) 量測範囲OD1 - OD6(比視感度) |
量測項目・反射率量測 | 最大最小反射率波長、指定反射率或波長的量測值 |
量測項目・膜厚量測 | 反射分光法的光干渉法、量測範囲 65nm~45μm、Spot size(min.φ10um) |
量測範例
對應各種彩色濾光片類型的量測解析軟體演算法
針對量測Recipe和量測項目、操作員可自行選擇來做量測動作
|
- 量測解析軟體演算法
- 量測項目設定
- 量測值判定設定
檔案下載
technical article
技術文章
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03Feb.2023
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