MCPD In Line series

Inline線上即時檢測(彩色濾光片製程)

可於線上即時檢測色度、膜厚、光學密度(OD)、反射率的光學量測系統
● 可架設於彩色濾光片製程中對所有基板進行全面檢測。
● 可根據基板量測位置、量測點位數量、依據不同的產線量測需求進行客製化系統規劃。
● 量測口徑為φ2mm至5 mm、採用可長時間量測的光學系可提供穩定的量測性能。
● 檢測器是採用在高速、高精度量測廣受業界肯定的大塚電子製光譜儀,在OD量測方面採用可對應高光學密度的光電子倍增管(PMT)

量測項目

  • 膜厚
  • 色度 Chromaticity
  • 光學濃度
量測項目 ※選配功能
・色度量測(穿透率光譜分析) ・色度(XYZ、 xy、 Lab、 L*a*b*、 u’v’、 u*v*)
・色差、白平衡 ・反射率※ ・光學濃度(OD)※ ・畫素線寬(CD)※ 
・膜厚※     
量測架構-單體Type
Inline系統架構-單體
量測架構-Traverse Type
Inline系統架構-Traverse Type

 
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