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LCF series
彩色濾光片檢測設備LCF series
● 從小尺寸到G10.5面板，完整對應彩色濾光片製程(完成品)的光學特性/膜厚評價
● 對應研發到全自動產線檢測用途，可根據使用目的選擇各種檢測設備
● 透過自動對焦和自動對位功能可於RGB畫素中心區域進行高精度量測
● 對於持續進化中的超高解析面板檢測需求，採用最小量測口徑2um對應
● 對於次世代面板技術、獨家研發可對應量子點的發光、色度檢測系統
● 對應研發到全自動產線檢測用途，可根據使用目的選擇各種檢測設備
● 透過自動對焦和自動對位功能可於RGB畫素中心區域進行高精度量測
● 對於持續進化中的超高解析面板檢測需求，採用最小量測口徑2um對應
● 對於次世代面板技術、獨家研發可對應量子點的發光、色度檢測系統
量測項目
- 膜厚
- 色度 Chromaticity
- 光學濃度
產品資訊
| 產品特色 |
- 穿透率、色度、光學濃度、膜厚、反射率、線寬等測量，完整支援彩色濾光片製程中檢測評價
- 擁有業界標竿水準的量測穩定性，對應任何世代尺寸的優異光學量測設備
- 全自動對焦、全自動畫素搜索定位功能，微距光學口徑的高精度測量，支援全自動檢查
- 對應噴墨式塗布(Inkjet Printer)製程的全畫素量測
| 量測項目 |
彩色濾光片量測
- 色度量測(穿透光譜分析)
- 色度(XYZ、xy、Lab、L*a*b*、u'v'、u*V*)
- 色差、白平衡
- 反射率 ※
- 光學濃度(OD) ※
- 畫素線寬 ※
- 全自動對焦、畫素位置搜索 ※
膜厚量測
- 多層膜量測、薄膜量測
- 波峰-波峰(P-P)、波峰-波谷法(P-V)、快速傅立葉轉換(FFT)、非線性最小平方法
異物檢察功能
- 樣品缺陷、凝膠、粉塵附著物等異物檢查
※選配功能
| 量測對象 |
- R, G, B,
- ITO, PI, PR, OC, BM
規格樣式
| LCF-Series | |
|---|---|
| 產品對應尺寸 | 100mm × 100mm ~ 3000mm × 3320mm(可對應複數基板尺寸切換需求) |
| 檢測器 | 分光光譜儀、光電子倍增管 |
| 影像處理 | CCD攝影機、全自動對焦、畫素定位 |
| 樣品載台 | 全自動或手動X-Y Stage |
量測範例
| 量測範例 |
| 色度計算方法 |
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