線上免費研討會

【掌握前沿光學膜厚量測技術 : 認識光干涉的原理與應用】

膜厚研討會
 
我們將介紹最新的光學膜厚量測技術,包括光干涉的原理與應用。在本次研討會中我們為您簡介如何使用光學量測儀器量測薄膜的厚度,精確掌握產品的品質控制與生產效率。我們將與您分享最佳的實踐方法與技巧。
【場次1】2023/06/28 15:00~16:00
【場次2】2023/07/05 14:00~15:00

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【固體表面電位解密:板狀、薄膜狀樣品表面電位量測方法與範例介紹】

固體表面電位研討會 (1)

 
固體表面電位是大塚電子ELSZ特色的量測項目,主要使用電氣泳動法配合電滲流解析做量測。
其不僅可以解析固體本身的電位,也可以進一步置換液相容液觀察固體與液體相間的交互作用。
利用電荷的吸引或斥力,可以延伸出許多研究方向。
【場次1】2023/08/17 14:00~15:00

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LCF series

彩色濾光片檢測設備LCF series

● 從小尺寸到G10.5面板,完整對應彩色濾光片製程(完成品)的光學特性/膜厚評價
● 對應研發到全自動產線檢測用途,可根據使用目的選擇各種檢測設備
● 透過自動對焦和自動對位功能可於RGB畫素中心區域進行高精度量測
● 對於持續進化中的超高解析面板檢測需求,採用最小量測口徑2um對應
● 對於次世代面板技術、獨家研發可對應量子點的發光、色度檢測系統

量測項目

  • 膜厚
  • 色度 Chromaticity
  • 光學濃度

產品資訊

產品特色
  • 穿透率、色度、光學濃度、膜厚、反射率、線寬等測量,完整支援彩色濾光片製程中檢測評價
  • 擁有業界標竿水準的量測穩定性,對應任何世代尺寸的優異光學量測設備
  • 全自動對焦、全自動畫素搜索定位功能,微距光學口徑的高精度測量,支援全自動檢查
  • 對應噴墨式塗布(Inkjet Printer)製程的全畫素量測
 
量測項目

彩色濾光片量測

  • 色度量測(穿透光譜分析)
  • 色度(XYZ、xy、Lab、L*a*b*、u'v'、u*V*)
  • 色差、白平衡
  • 反射率 
  • 光學濃度(OD) 
  • 畫素線寬 
  • 全自動對焦、畫素位置搜索 

膜厚量測

  • 多層膜量測、薄膜量測
  • 波峰-波峰(P-P)、波峰-波谷法(P-V)、快速傅立葉轉換(FFT)、非線性最小平方法

異物檢察功能

  • 樣品缺陷、凝膠、粉塵附著物等異物檢查

※選配功能 
 
量測對象
  • R, G, B,
  • ITO, PI, PR, OC, BM

 

規格樣式

  LCF-Series
產品對應尺寸 100mm × 100mm ~ 3000mm × 3320mm(可對應複數基板尺寸切換需求)
檢測器 分光光譜儀、光電子倍增管
影像處理 CCD攝影機、全自動對焦、畫素定位
樣品載台 全自動或手動X-Y Stage

量測範例

量測範例
LCF量測示意LCF量測畫面
色度計算方法
色度計算公式

 

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