光電科學、半導體分析、平面液晶顯示器檢測設備的最佳供應商
大塚首頁>產品目錄>低相位差高速檢查機 RE-100
展示機預約
低相位差高速檢查機 RE-100 量測原理 量測項目 應用範圍 規格樣式 量測實例 選配附件
製程線上的偏光檢測儀(In-line)
低相位差高速檢查機 RE-100
產品特色
可測量從0nm開始的低相位差(殘留應力)。
檢測光學軸的同時,同步高速測量相位差 (Re.)。
(0.1秒以下的高速同時量測)
偏光檢測儀無任何驅動元件干擾,可提高再現性量測精度。
無需複雜參數設定,操作簡單易懂。
550nm以外,亦可支援其它波長量測。
Rth量測、全角度量測。(需搭配自動旋轉傾斜裝置)
搭配拉力測試機可同時量測薄膜偏光特性與光彈性。
(此系統為特殊規格)

量測原理

  RE-100,係採用光結晶像素與CCD感光元件所構成的偏光檢測儀。搭配帶有穿透率特性的各種偏光元件,可以高速同時進行相位差與光學軸的量測。

  CCD感光元件會自動擷取經過偏光後所呈現的畫面進行解析。相較以往,不需要再使用任何的驅動元件來尋找偏光後的受光強度。不但可提高再現性的精度、更具備長時間使用的安定性。
量測原理

光學系統的配置與量測原理

量測項目

相位差(ρ[deg.],Re[nm])
光學軸方位角(θ[deg.])
橢圓率(ε),方位角(γ)
三次元屈折率(NxNyNz)

應用範圍
相位差膜、偏光膜、橢圓膜、視野角改善膜、各種機能性薄膜、
樹脂、玻璃等透明帶有低相位差之樣品(殘留應力)

規格樣式
樣品尺寸
最小10×10mm ∼ 最大100×100mm
量測波長
550nm (標準規格)*1
相位差量測範圍
約0nm ∼ 約10μm
相位差量測精度
0.05nm (3σ)*2
光學軸量測精度
0.05°(3σ)*2
解析元件
偏光檢測儀
量測口徑
2.2mm×2.2mm
通訊介面
100W 鹵素燈或LED光源
尺寸
300(W) × 560(H) ×430(D) mm
重量
約 20 kg
*1 可選擇其他波長    *2 量測水晶波長板之精度(約55nm,2枚型)


偏光檢測儀在生產線上的應用 (In-line Process)

USB傳輸,可適用於多種環境的架設。
超高速量測,最適用於生產線中的即時監控。
可搭配複數偏光檢測儀,同時進行多點位、多角度(Rth)量測。

偏光檢測儀在生產線上的應用 (In-line Process)


偏光檢測儀在生產線上的應用 (In-line Process)

copyright(c)otsuka tech electronics co.,ltd all rights reserved.