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界達電位粒徑分析儀ELSZ-2000ZS
稀溶液到濃溶液，奈米粒徑到固體表面電位評價
搭載業界最高功率半導體雷射及高感度APD -
Standalone型晶圓厚度量測&產線上膜厚量測設備TE series
本設備配合半導體 Wafer CMP等製程中， OFF-Line wafer 薄膜/厚度量測用途
設備中包含 wafer Loadport、EFEM 、In-situ Metrology Unit。
稀溶液到濃溶液，奈米粒徑到固體表面電位評價
搭載業界最高功率半導體雷射及高感度APD
本設備配合半導體 Wafer CMP等製程中， OFF-Line wafer 薄膜/厚度量測用途
設備中包含 wafer Loadport、EFEM 、In-situ Metrology Unit。
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