設備常見問題
◎LCF系列
| 項次 | 異常訊息/狀態 | 排除說明 |
|---|---|---|
| （1） | reference對焦動作異常 | 原因：上焦點設定錯誤，導致對焦異常。 對策：進入Machine condition，針對reference 進行上下對焦並存檔。 |
| （2） | 量測再現性不佳 | 原因：燈源不穩定。 對策：更換新品燈源。 |
| （3） | Tans spot search error | 原因：量測燈源熄滅，導致量測異常。 對策：更換新品燈源。 |
| （4） | MCPD communication error | 原因：MCPD分光器通訊異常。 對策：檢查MCPD分光器電源是否開啟? 電源線是否脫落? |
◎Rets系列
| 項次 | 異常訊息/狀態 | 排除說明 |
|---|---|---|
| （1） | Calibration測檢時發生Light over 或Lght under的錯誤訊息 |
原因： 請確認燈源是否有正常動作？ 對策： 請更換新品燈源再進行測試。 |
| （2） | Calibration測檢時發生Light over 或Lght under的錯誤訊息 |
原因： MCPD內部Shutter有斷裂可能。 對策： 請檢查MCPD內部Shutter，如有斷裂則需更換。 |
| （3） | Calibration測檢時發生Light over 或Lght under的錯誤訊息 |
原因： MCPD內部Shutter馬達故障可能。 對策： 請檢查MCPD內部馬達，如旋轉動作不順暢則建議更換。 |
| （4） | Calibration的波長板量測結果 | 原因： 光通路被遮蔽或燈泡沒亮。 對策： 請檢查量測時的光軸路徑,是否有被干涉或者遮蔽。另外也需檢查燈泡是否正常發亮。 |
◎MPRT系列
| 項次 | 異常訊息/狀態 | 排除說明 |
|---|---|---|
| （1） | scroll speed is fast | 原因： 畫面捲動速度過快，導致CCD Camera無法正確抓取畫面。 對策： 請依大塚提供的ScrollSpeed計算資料，將MPRT軟體中的捲動速度降低。 |
| （2） | Detect line error | 原因： 畫面解析度過高 or 畫面閃爍。 對策： 請將工作距離拉遠，並提高CCD Pixel數由100變更為150。 |
| （3） | Check and Ajust Iris of Camera | 原因： 樣品光源不足。 對策： 調整光圈IRIS使其進光量增加。 |
| （4） | communication Error | 原因： 通訊異常。 對策： 查看裝置驅動程式是否遺失，重新安裝驅動程式。 |
