in-situ膜厚量測 (GS)

以CVD&PVD或是各種成模的的方式形成閘極的電極層(多結晶Si膜等)、閘極絕緣膜(氧化膜、氮化膜等)、層間絶縁膜(氧化膜)、光阻膜等膜厚管理有其必要。提供從納米等級高精度膜厚測定與膜質測定(光學常數)。

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