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>電漿光譜分析儀系統 MCPD series
分光光譜儀與量測光纖的搭配，解決各種量測需求的最佳方案。
分光光譜儀種類
量測波長範圍
MCPD-9800
: 高動態範圍型
360 ~ 830 nm
360 ~ 1100 nm
240 ~ 800 nm
MCPD-3700
: 紫外/可視/近紅外光型
200 ~ 800 nm
300 ~ 1000 nm
380 ~ 780 nm
MCPD-7700
: 高感度型
220 ~ 800 nm
330 ~ 1100 nm
350 ~ 930 nm
終端點、分布空間、反應過程、雜質檢出
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系統架構
(1) 分光光譜儀
(2) 受光光纖
(3) X-Y-Z軸量測平台
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量測實例
Ar電漿的光譜圖
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