工業用氣體分析儀 IG-2000 -大塚科技股份有限公司

大塚首頁>產品目錄>工業用氣體分析儀 IG-2000

備有各式光程長度的氣體腔（1cm～10m）。更換簡易，可輕鬆對應各種不同氣體。

1cm+4.2m光程的組合式雙氣體腔。以簡單的切換操作，可在氣體濃度差異極大的環境下進行量測。

標準高感度、高反應常溫DLaTGS檢測器。無須液態氮，即可在低波數領域到高波數領域之間進行量測。

溫度壓力補償、溫度變化圖示、光譜解析圖示、多國語顯示以及危險警示等，功能齊全的人性化軟體。

內建標準氣體資料庫，可高速且高精度進行定性、定量解析。並視需求，隨時可提供資料庫的更新。

可搭載台車，以非定點方式監控。也可與配管搭配連結，多點監控尾氣處理設備的效率評價。

提供一對多台尾氣處理設備的線上自動化量測評價。

定性、定量分析

光譜分析

■ 半導體、光電產業研發&製程，微機電系統（MEMS）
   ・計算從設備中所釋放出的PFCs（Perfluoro compounds）氣體的分解效率及排出量
   ・尾氣處理設備的效能評價
   ・多成分氣體的即時監控
   ・分析腐蝕性氣體中的微量水分及微雜質成份 ⇒ IG-1000V

	室溫DLaTGS檢測器
量測波數範圍	700 ~ 5000 cm-1
檢測器	邁克森干涉儀（Michelson Interferometer）
解析能力	0.5 ~ 32 cm-1
真空功能	無
氣體腔規格	可替換（法蘭構造為NW40）
氣體腔光程長度	1cm, 10cm, 2m, 4.2m, 10m
尺寸*	460（W）×460（D）×478（H）mm
重量*	約30kg

*未包含氣體腔部份

■ 氣體腔（1cm,10cm,2m,4.2m,10m）
■ 組合式雙氣體腔（1cm+4.2m）
■ 壓力轉換器
■ 氣體腔增溫器
■ 氣體腔封蓋
■ 局部排氣箱
■ 進排氣切換組件
■ 真空幫浦（IG-1000V用）
■ 隔膜幫浦