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工業用氣體微量水份分析儀 IG-1000V量測項目應用範圍規格樣式量測實例
工業用氣體微量水份分析儀 IG-1000V
產品特色
除IG-2000既有的功能,另使用真空幫浦與10m氣體腔,實現了以在氣體中的高精度水份檢測。
藉由水份分析軟體,可從測量數據將水份零的空白數據合成,求出氣體中的正確水份含量。
將光學組件與電氣部獨立分離,提供更穩定的量測。
以最小平方法高速處理波形,可即時同步分析多成份的氣體。
內建可追溯的氣體資料庫。高速且高精度進行定性、定量解析,並視需求可隨時提供氣體資料庫的擴充。
光學組件採用真空度1.3×10-3Pa的可抽真空密閉結構。

量測項目
定性、定量分析
光譜分析
應用範圍
■ 半導體產業
   ・腐蝕性氣體中之水份及雜質分析
規格樣式
 
室溫DLaTGS
電子冷卻型InAs
量測波數範圍
700 ~ 5000 cm-1
3500 ~ 6000 cm-1
干涉儀
邁克森干涉儀(Michelson Interferometer)
解析能力
0.5 ~ 32 cm-1
真空功能
有(真空度 1.3×10-3Pa)
氣體腔規格
可替換(法蘭構造為NW40)
氣體腔光徑長度
1cm, 10cm, 2m, 4.2m, 10m
尺寸*
685(W)×350(D)×280(H) mm
重量*
約52kg
*未包含氣體腔部份
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